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            產品訊息
            PRODUCTS
            • PVD系統
            PVD PVN500
            產品功能
            產品特色
            .奈米複合硬質塗層設備
            .採陰極電弧鍍膜技術,可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源
            .圓形靶靶材利用率高
            .真空零配件均採進口元件
            .特殊幾何形狀檔板(遮蔽靶源)
            .系統採夾層式水路冷卻;八邊形不銹鋼腔體
            .搭載4 組Heater,可均勻升溫至450℃
            .搭載超高真空渦輪幫浦
            .8軸3層公自轉機構,產能大且膜層均勻
            .置具台車方便Loading /Unloading生產,提供生產效率
            .全自動化鍍膜生產,可遠端網路診斷及程式除錯
            .可鍍膜種類:TiN、CrN、ZrN、TiSiN亚博直播下注、TiAlN、AlTiN、AlCrN亚博直播下注、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…
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