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            產品訊息
            PRODUCTS
            • PECVD
            電漿輔助化學氣相沉積系統
            產品功能
            產品特色
            .大面積均勻性
            .高鍍膜速率
            .低溫真空鍍膜
            .可通入多組氣體
            .易操作及易維護
            .可以客戶做修改
            .可搭配製電漿光譜分析儀做製程電漿監控及控制
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