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            產品訊息
            PRODUCTS
            • 真空電性量測系統
            多功能型真空電性量測系統MVEM001
            產品功能
            多探針真空量測: 可選配2至4組可微調探針座,電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載台直徑可至2英寸亚博直播下注,腔體真空度可選擇一般真空度(5×10-3 Torr)以及高真空(1×10-6 Torr)亚博直播下注。探針X-Y-Z三方向微調,行程:6.5 mm,定位精度:10 μm。並搭配CCD進行下針及微調。

            In situ電漿處理裝置: 特殊探針收回機構設計,多次量測之間可進行電漿處理程序,針對樣品進行表面電漿改質/清潔,不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產生影響?亚博直播下注?蛇x配RF/DC/MF generator。

            光感測: 腔體上方透明視窗採用石英玻璃亚博直播下注,可搭配光學系統進行光感測元件之量測亚博直播下注。

            特定氣體感測: 特定氣體可透過質流控制器(Mass flow controller, MFC)或浮子流量計進行流量控制亚博直播下注。

            濕氣感測、有機蒸氣感測: 可選配特殊液態蒸氣導入裝置設計,可控制導入腔體之蒸氣流量亚博直播下注,進而換算液態蒸氣之感測濃度。

            低溫量測(300K~20K): 選配閉循環低溫製冷系統亚博直播下注,可達20K之低溫環境,並透過PID系統進行連續式控溫亚博直播下注。高溫選配需求可達500K亚博直播下注、低溫選配需求可達10K
            產品特色
            提供真空量測系統相關進階功能之解決方案,整合常見之真空量測所需功能:真空量測、特定氣氛感測、濕度感測、有機蒸氣感測、光感測(需額外搭配光學系統如雷射亚博直播下注、光譜儀等)亚博直播下注、高低溫變溫量測、真空電漿處理。內部各項配件均可客製化設計亚博直播下注。
            相關解決方案

            固態半導體電子元件、次微米/奈米元件之電性量測、微電子元件量測(photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.)、四點探針量測(4 points measurement)。

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