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            PRODUCTS
            • 直流電源供應器
            直流電漿電源系統 DCPS系列
            產品功能
            .符合電漿特性的電氣規格
            .具備定功率,定電壓,定電流
            .內建電弧保護功能
            .內建過電壓,過電流,過熱,過載等保護功能
            .可用於單雙火線的電漿系統
            .PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)
            產品特色
            .數位控制電源供應系統
            .設定範圍廣
            .高電漿密度電源
            .可客製化電源設計開發
            相關解決方案

            .真空鍍膜製程之清洗處理供應電源

            .電漿輔助化學沉積製程

            .電漿輔助濺鍍製程

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