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            產品訊息
            PRODUCTS
            • 電漿光譜分析儀
            電漿光譜分析儀 (OES)
            產品功能
            電漿光譜分析儀為非侵入式的電漿分析儀器,能夠進行電漿的監控及分析製程中電漿元素特性,幫助提升製程的監控性並提供製程後續分析能力
            產品特色
            .真空內置式偵測頭
            .防鍍膜組
            .能觀測特定波長
            .能控制流量計
            .能擴充至4組流量計控制
            .電漿光譜成分後續分析功能
            .客製化
            相關解決方案

            .LED 產業
            .太陽能產業
            .半導體產業
            .光電產業
            .電漿鍍膜產業
            .電漿處理系統
            .光學產業
            .學術研究

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